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X光纳米充刻掩模的离子束制备法

【摘要】重离子柬轰击聚碳酸酯后.对样品进行陈化和紫外线照射数化,在优化条件下蚀刻后得到纳米孔径核孔膜。利用电化学沉积技术在核孔膜中制备了最小孔径为30纳米的铜纳米线。获得的钥纳米线/聚碳酸酯可以作为x光纳米光刻的腌膜。

【关键词】

1897 0页 北京同步辐射装置(英文版) 2001年2期 免费 韩勇 彭良强 巨新 伊福廷 张菊芳 吴自

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