【摘要】研究了含有硅氧烷基团的螺旋环化聚合物PbMA的介电性能，PbMA结构中含有类似PMMA的主链和四甲基双硅氧烷侧环．PbMA可以旋涂到n型高掺杂硅单晶片（n—Si）上形成高度均一的膜，用于介电测量，研究了其介电性质和I—V特性曲线．PbMA在10-10^5频率范围有远低于PMMA的介电常数（低于2．61，其热稳定性也优于PMMA．I-V数据表明金属／PbMA／n—Si组成了不同导通方向的结，导通方向依赖于沉积在PbMA膜上的Au或Al层．
【关键词】
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