【摘要】选用能量为180keV，温度为623K，注入4×10^16cm^-2剂量的钴离子束注入TiO2样品．在不同的退火温度下，用高分辨的扫描电镜、同步辐射X射线衍射、卢瑟福背散射／沟道实验和超导量子干涉仪，分别对样品进行结构与磁性的测试．SR-XRD和HRTEM测试结果表明：在Co注入TiO2后，形成了钴的体心立方（hcp）相和面心立方（fcc）相，日．在TiO2中，钴一纳米粒子也已经形成．随着退火温度的增加，钴的hcp相向fcc相转变，且钴-纳米粒子的尺度增加了．当退火温度为1073K时，由于钴粒子的注入而使得损坏的晶格明显的变好了．Co沣入TiO2中能够观测到铁磁性，主要原因是钴一纳米粒
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