【摘要】采用脉冲激光沉积技术在氧气氛中制备了Ca2O3薄膜,X射线衍射表明薄膜属于β单斜晶系,薄膜的颗粒在纳米量级;原子力显微镜显示随着氧气压强的增加,薄膜颗粒增大,测定了薄膜的光致发光,发现沉积时氧气压强的增加可以提高纯Ga2O3薄膜的发光强度,且峰位红移,Ga2O3靶物质中掺杂少量的CeO2后所得到的薄膜,其发光强度可以明显地增加,此外,还利用发光光谱技术研究了由激光烧蚀所产生的羽状物中Ga原子或离
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