【摘要】文章研究了在实际生产过程中，真空磁控溅射设备下制备ITO膜时，高温成膜过程中环境中的氧气分压对ITO薄膜的光电特性的影响。P-ITO指的是结晶状态的ITO膜，在高温环境下ITO膜成膜工艺，也就是常说的高温成膜工艺，在成膜过程中结晶，通过调整成膜过程中O2的分压制备所需的ITO膜。
【关键词】
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