【摘要】●精密气悬浮式光阻涂布设备，符合大尺寸面板制造的产能需求趋势 ●以气悬浮平台控制技术进行涂布和玻璃基板传送，无静电及刮伤等问题 ●该产品运用了Manz在光伏领域先进的自动化与控制技术
【关键词】
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