【摘要】文章设计了一种基于微处理器的电感测微仪，把这项技术应用在锂电池极片涂膜的厚度测量中，通过一系列的试验对该电感测微仪性能参数进行了评价。试验数据表明，该测量仪具有良好的性能指标，能在精密和超精密测量领域中使用。
【关键词】
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