【摘要】空气产品公司(AirProducts),一家全球领先的工业气体供应商,宣布其台湾子公司三福气体股份有限公司(三福气体)已经获得台湾联华电子股份有限公司(联电)的一项长期合同,为联电在台南科学工业园区的12英寸晶圆厂最新四期项目提供氦气及其它大宗气体。三福气体将建造一套大型空气分离装置、输气管道和大宗气体系统,为联电300mm晶圆厂的第五至第八期提供超高纯氨气和其它大宗气体,包括氧气、氩气、氦气和氢气。
【关键词】
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