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WCW003刷毛状异物D断调查及对策

【摘要】2008年7月份,在TFT-LCD制品Array生产中,Array Tester检查发现,Drain Layer成膜前洗净设备与Data Line Open(D 断)存在设备间的差异.经确认,此类D断存在共同特征即缺失处形状类似刷毛.文章旨在对此现象进行验证,以进行有效对策.

【关键词】

9515 0页 现代显示 2010年2期 免费 杜海波 , 李荣玉

全文来源于知网

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